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光刻機作為芯片制造最核心的設備，如果沒有光刻機，芯片制造就是紙上談兵。缺乏先進光刻機就是目前大陸芯片制造發展面臨最大的挑戰，此前光刻機采購也屢屢受阻。

不過，全球光刻機巨頭阿斯麥ASML全球副總裁、中國區總裁沈波近日接受采訪時表示，對中國出口集成電路光刻機持開放態度，在法律框架下全力支持。同時明確表明，目前ASML除了EUV（極紫外線）光刻機無法對中國客戶供貨外，其他產品都可以正常供貨。

目前ASML占據全球80%的光刻機市場，毋庸置疑的霸主地位。而ASML在中國裝機量已經接近1000臺，中國市場占據了ASML全球30%的出貨量，也是一個很大的市場。尤其是現在國內芯片行業快速發展進步，對于光刻機的需求也將越來越大，中國市場對于ASML來說會越發重要。 

此前大陸晶圓代工龍頭中芯國際向ASML預訂了大量DUV（深紫外光）光刻機，總價值近12億美元。如果沈波所言屬實，那就意味著DUV光刻機不受美國制裁影響能夠正常發貨，那么中芯國際在深圳、上海等地的擴產計劃就能夠順利展開，從而獲得更好的發展機會。